大口径介质高反射高面形镀膜技术

发布时间：2022-03-01

在中科院某光机所D1230非球面反射镜的介质高反射镀膜项目中，很好的解决了介质高反射膜层的应力，镀膜后面型精度优于：PVr≤λ/3，RMS≤λ/30（λ=632.8nm），一次性完成任务。此项技术的突破，不仅攻克了长期困扰业界的保精度的介质高反镀膜难题，更为该类仪器在外场环境下节约了大量维护成本，保证了仪器的长期可靠稳定运行。